Karakterisasi Material | Scanning Electron Microscopy (SEM)

SEM merupakan suatu alat yang dipakai untuk mengamatai struktur mikro suatu bahan, dan digunakan secara luas di bidang ilmu bahan. Prinsip kerja SEM berdasarkan pada interaksi antara elektron yang ditembakkan dengan sampel yang akan diamati (Gambar). Cara terbentuknya gambar pada SEM berbeda dengan apa yang terjadi pada mikroskop optik. Suatu berkas elektron dihasilkan electron gun  yang berada dibagian atas mikroskop. Berkas elektron akan mengikuti lintasan yang dibuat secara vertikal melewati mikroskop yang berada dalam kondisi vakum. Berkas melewati medan elektromagnetik dan lensa yang berfungsi memfokuskan berkas menuju sampel yang akan diamati. Saat berkas mengenai sampel, elektron dan sinar-X akan keluar dari sampel.

 

Gambar. (a) Bagian-bagian dan prinsip kerja SEM, (b) Emisi yang dihasilkan setelah elektron mengenai sampel



Detektor akan mengumpulkan sinar-X tersebut, elektron yang terhambur, dan elektron sekunder untuk selanjutnya dikonversi ke dalam bentuk sinyal. Sinyal-sinyal ini diolah dan hasil keluarannya berupa citra yang ditampilkan pada monitor.